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准分子激光剥蚀系统

激光剥蚀是微区分析的重要手段，代表着原位微区微量元素和同位素分析的重要发展方向。193nm准分子激光是位于深紫外波段的“冷激光”，高能量密度的均匀平顶激光，能够剥蚀各类样品甚至是透明物质，包括高纯石英、萤石等样品。LA-193准分子激光剥蚀系统包括激光器完全实现国产化，具备超高性价比。软硬件支持与电感耦合等离子体质谱仪和光谱仪直接联用。

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准分子激光剥离系统

准分子激光剥离设备采用准分子激光作为光源，经过匀光、整形后获得极均匀的高能量密度线型激光束，适合聚酰亚胺等薄膜从玻璃、蓝宝石等基板上剥离，剥离良率高。准分子激光输出在紫外波段，样品吸收深度小，对柔性基底损伤小。准分子剥离系统主要用于柔性显示、柔性电子的生产和研发。

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准分子激光退火系统

准分子激光退火设备采用准分子激光作为光源，经过匀光、整形后获得极均匀的高能量密度线型激光束，可实现大面积样品均匀扫描。准分子激光输出波长短，光子能量大，样品吸收深度小。准分子激光退火设备主要用于薄膜材料的退火或改性，如低温多晶硅薄膜退火、光电功能薄膜材料开发等，以及薄膜材料和器件的表面改性研究。

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