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准分子激光退火系统
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产品品牌：
深圳盛方
交货周期：
1-3个月
产品简介：
准分子激光退火设备采用准分子激光作为光源，经过匀光、整形后获得极
均匀的高能量密度线型激光束，可实现大面积样品均匀扫描。准分子激光输出
波长短，光子能量大，样品吸收深度小。准分子激光退火设备主要用于薄膜材
料的退火或改性，如低温多晶硅薄膜退火、光电功能薄膜材料开发等，以及薄
膜材料和器件的表面改性研究。
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公司地址：
龙岗区坂田街道雪岗路2018号天安云谷一期一栋B座一层03单元
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