超精密手动平移台SPYD系列主体材料采用铝合金,灵敏度高,外形尺寸小使用交叉滚柱导轨,为分厘卡驱动,该系列产品具有小于2um的灵敏度。台面尺寸多样、厚度适中,可单维或多维组合使用。
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