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传统双频激光干涉仪系统
测量分辨率：0.077nm@4倍光学细分   测量范围：20m   采样速率：10MHZ   波长稳频精度：0.002ppm@1hour   
指导价 请联系企业
产品品牌：
拍频光电
交货周期：
现货
产品简介：
传统双频激光干涉仪系统
我司开发的传统双频激光干涉仪系统分辨率高达0.077nm可溯源至国际标准单位“米”的定义。主要应用于半导体装备长度计量等亚纳米及纳米精度测量领域。
采用双频氨氖激光，具备ppb级波长稳定性采用双频外差干涉技术，抗环境干扰能力强，易进行多轴扩展，低频噪声低
具有高数据采样率，支持动态测量和实时闭环反馈具备VME/ABZ/RS485/网口等多种通讯接口
支持位移、速度、加速度、
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