本司开发的二维PSD传感器,采用二维PSD和角锥镜相结合进行位移测量。利用了角锥镜的出射光与入射光互相平行的特性,因此理论上测量结果是线性的,且光学上可分辨率倍增,结构简单,可进行二维位移进行测量。如果采用三组或者更多组二维PSD传感器,可实现六自由度位移测量。该方法具有原理简单、结构简洁、成本低、线性度好等优点。
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