TMC LaserTable-Base™ 混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统

LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常，光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效，但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制，可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术（空气和STACIS）整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应，这实现了低频率消振和前所未有的高频隔振水平。

LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计，可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔振器或刚性、非隔振支架，具体取决于应用要求。

规格

• 采用专利STACIS®技术

• 主动惯性消振系统

• 消振从低于1 Hz开始

• 加长行程的压电致动器，高达60微米。

• 6个主动自由度

• 由两个串联隔振系统组成，可实现最佳隔振效果

• 采用专利MaxDamp®空气隔振器

• 简单、坚固且经济高效

• 可选的搁板，用于在工作台下方安装设备

• 包括TMC的DC-2020数字控制器

表现

将低频、无源 MaxDamp® 空气隔离器与压电主动振动 x 除 系统串联组合会产生一条整体传输率曲线，该曲线是两条单独传输率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显着，以至于在某些频率范围内，我们受到测量仪器本底噪声的限制。并且无法测量和展示完整的隔离性能。也就是说，在 10-12 Hz 以上，组合系统的实际性能预计会超过所示，因为组合隔离在理论上是两个子系统提供的隔离的总和。

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