TMC 混合压电陶瓷/音圈电机主动隔振系统

Stage-base 450 专门设计为 半导体工具的主要振动 x 除 系统，这些工具包含高精度电动 XY 平台。虽然此类工具需要极其 you 效 的振动xiao除，但同样重要的是，它们需要由平台引起的  载荷运动非常迅速地稳定下来，以  大 限度地提高工具吞吐量。通过添加带有前馈控制的 VCM 以实现更快的稳定时间以进一步提高吞吐量，结果是用于移动舞台应用的 的主动振动和运动x除系统。

优势

Stage-base 450 是集成音圈技术的下一代有源硬安装压电减振器。 只有 TMC 可以提供这种  特 的串行技术，通过音圈电机 (VCM) 实现先进的低频振动 x 除，以实现积极的移动台运动 x 除。

Stage-base 450 下一代主动控制系统结合了 TMC 的 STACIS 技术 ，使用压电执行器和串联式架构中的刚性悬架实现了 的振动 隔离。这导致从 0.6Hz 开始的地板隔振在行业中是好的，响应舞台力的初始偏转显着减少。

规格

• 采用   STACIS® 技术

• 采用大力、长行程压电执行器

•  效 载荷的位置可重复性达到微米级

• 框架式设计

• 6 个活动自由度

• 可选的前馈和/或 VCM 反馈

• 从 0.6Hz 开始的主动隔振

• 响应平台运动的快速稳定时间

• 无软空气悬架

• 通过 U,S,B 2.0 带有基于 PC 的图形用户界面 (GUI) 的高速数字控制器

• 简单、坚固且经济 
  

表现

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激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

光机械件：用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学y件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、tou射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等