型号材料Dt面精度平行度表面质量
[mm][mm]
OPMFSP-30C05-10-5NEWMFø305λ/10≤5秒10月20日





注意

材料SFS(人造熔融石英玻璃)
CaF2(氟化钙)
MgF2(氟化镁)
表面粗糙度2 A以内(Ra)
面精度测量用波长632.8nm
面精度测量法使用Zygo激光干涉仪测量
有效尺寸范围实际尺寸的90%
表面质量10 - 5 (SQ)
20 - 10 (CFU·MF)