产 品 说 明 光学样板是人造熔融石英材质的光学平板之一,被用作平面元件的平面度测量时的标准平面。也被称为牛顿样板。
把被测件放在光学平板上就会出现牛顿环,根据牛顿环的数量和形状,检验和测量被测件的面精度。牛顿环是两个表面间的间隙引起的干涉条纹。一个间隔相当于测量波长的一半。(牛顿环法)
每个光学样板都被放置在一个保护木合内,并附有实测的干涉条纹照片和表面形状数据。
型号 | D | t | 材料 | 反射面精度 | 面精度 | PV值 | 平行度 | |
[mm] | [mm] | [μm] | ||||||
HMPQP-150C30-12 | ø150 | 30 | SQ | λ/12 | 0.05 | 0.08 | ≤3分 |
采用牛顿环方法测量时,由于和光学样板接触,所以存在擦伤被测件表面的可能。
西格玛光机的光学样板标准和JIS规格不一样。
在光学样板的侧面,有一个箭头指示正面。
关于材料,请向本公司营业部咨询。
材料 | SFS(人造熔融石英) ZD(ZERODUR®)或 CCZ(CLEARCERAM®-Z) |
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面精度测量用波长 | 632.8nm |
面精度测量法 | Zygo 激光干涉仪 |
有效通光孔径 | 实际尺寸的95% |
平行度 | ≤3分 |
反面 | 简易抛光 |
表面质量 | 20 - 10 |