产 品 说 明                                                                                                                          光学样板是人造熔融石英材质的光学平板之一,被用作平面元件的平面度测量时的标准平面。也被称为牛顿样板。

把被测件放在光学平板上就会出现牛顿环,根据牛顿环的数量和形状,检验和测量被测件的面精度。牛顿环是两个表面间的间隙引起的干涉条纹。一个间隔相当于测量波长的一半。(牛顿环法)

每个光学样板都被放置在一个保护木合内,并附有实测的干涉条纹照片和表面形状数据。

型号Dt材料反射面精度面精度PV值平行度  
[mm][mm][μm]
HMPQP-130C25-20ø13025SQλ/200.0320.05≤3分










注意

材料SFS(人造熔融石英)
ZD(ZERODUR®)或 CCZ(CLEARCERAM®-Z)
面精度测量用波长632.8nm
面精度测量法Zygo 激光干涉仪
有效通光孔径实际尺寸的95%
平行度≤3分
反面简易抛光
表面质量20 - 10