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型号类型WDt材料面精度表面质量
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WSSQ-80C12-20-1SFS-λ/201ø8012SFSλ/2010月20日







注意

材料BK7
SFS(人造熔融石英玻璃)
SFGSK(准分子激光用人造熔融石英玻璃)
面精度测量用波长632.8nm
面精度測定法Zygo 激光干涉仪
有效通光孔径实际尺寸的90%
表面质量10 - 5(WSB)
20 - 10(WSSQ、WSSQK)