产 品 说 明                                                                                                                          

注意

材料SFS(人造熔融石英玻璃)
CaF2(氟化钙)
MgF2(氟化镁)
表面粗糙度2 以内(Ra)
面精度测量用波长632.8nm
面精度测量法Zygo激光干涉仪
有效尺寸范围实际尺寸的90%
表面质量10 - 5 (SQ)
20 - 10 (CFU·MF)

 

材料W
[°]
D
[mm]
t
[mm]
面精度表面质量型号数量
SFS1ø305λ/1010-5WSSQSP-30C05-10-1NEW
SFS1ø508λ/1010-5WSSQSP-50C08-10-1NEW
CFU1ø305λ/1020-10WSCFSP-30C05-10-1NEW
MF1ø305λ/1020-10WSMFSP-30C05-10-1NEW