产 品 说 明                                                                                                                          

XYZθ轴TSD直动平台


l         4轴方向微调精密平台。

l         由XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄型轴承钢制平台与θ轴粗微调转动平台组成。

l         各平台的详细参数，请参阅下表。