产 品 说 明                                                                                                                          

XYZθα轴TSD直动平台

l         5轴方向微调精密平台。

l         由XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄轴承钢制平台，θ轴粗微调转动平台，小型α轴摆动平台，与α轴摆动平台组成。

l         型号末尾为DC的平台的XY轴平台的测微头在中间，末尾为DS的平台的XY轴平台的测微头在侧面。