产 品 说 明                                                                                                                          

XYZθαβ轴TSD直动平台

l         6轴方向微调精密平台。

l         XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄轴承钢制平台，θ轴粗微调转动平台，小型αβ轴摆动平台，与αβ轴摆动平台组成。

l         型号末尾为SC的平台的XY轴平台的测微头在中间，末尾为ES的平台的XY轴平台的测微头在侧面。