SFS-120XY(WA) 中空型XY压电陶瓷平台

l         它是一种具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平台。

l         它采用压电陶瓷作为驱动器，并内置小位移传感器。

l         适用控制器为FINE-503。该控制器具有RS232C，GP-IB 和USB 接口。

l         可以很容易地通过计算机，利用我们独自开发的应用软件SGEMCS，SGTERMS，SGSFSX 进行控制。

l         此平台是显微镜用移动台，精密测量，表面结构分析，半导体测试装置，精密掩模及半导体晶圆的调整；扫描型干涉仪，高分辨率图像处理及生物系统等的理想选择。

l         不同类型的显微镜，有时其安装方法也有所不同。

l         在您垂询时，请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称，型号以及物镜型号。