产 品 说 明
驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，可以用于显微镜的物镜驱动。
特点：
● 开环控制时的行程为100μm。
● 考虑到显微镜的种类，我们备有2种用于正置型和1种用于倒置型显微镜的标准产品。
● 和其它压电陶瓷平台类似，可用控制器（FINE-01γ/503(CL)）实现驱动。它们具有RS232C，
GP-IB（仅FINE-503(CL)），USB接口，配合计量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX，可简单地构建控制需要的系统。
● 备有多种螺纹适配器，可以安装不同螺纹尺寸的物镜。
● SFS-OBL-2是采用了金属封装的压电陶瓷驱动机构，和SFS-OBL-1相比，具有更好的抵抗湿度环境的性能。
技术规格参数：
型号 | SFAI-OBL-1R |
行程 | 100μm±15％ |
最大可安装物镜直径〔mm〕 | 外径φ39以下 |
外形尺寸〔mm〕 | （W）60.8×（H）30×（D）40 |
驱动方式 | 压电陶瓷 |
自重〔kg〕 | 0.15 |
理论分辨率（开环时）〔nm〕 | 约0.8 |
分辨率（闭环时）〔nm〕 | 10 |
直线度（Xy Xz Yx Yz）〔μm〕 | ＜0.2μm |
重复定位精度〔μm〕 | ＜0.1μm |
承载能力〔N〕 | 4.9（0.5kgf） |
微小位移传感器 | 数字位移传感器 |
螺纹适配器 | OBL-ADP3-＊＊ |
附属件 | 电缆（2m），专用安装支柱4个 |
物镜用螺纹适配器：
型号 | 安装螺纹尺寸 | A | B |
SFS-OBL用适配器 | |||
显微镜侧：M20.32 | M20.32 P=0.706（W0.8×1/36） | 15mm | |
物镜侧：M20.32 | M20.32 P=0.706（W0.8×1/36） | － | |
显微镜侧：M25.0 | M25.0 P=0.75 | 20mm | |
物镜侧：M25.0 | M25.0 P=0.75 | － | |
显微镜侧：M26.0 | M26.0 P=0.706（W26.0×1/36） | 21mm | |
物镜侧：M26.0 | M26.0 P=0.706（W26.0×1/36） | － | |
SFAI-OBL用适配器 | |||
显微镜侧：M20.32 | M20.32 P=0.706（W0.8×1/36） | 15mm | |
物镜侧：M20.32 | M20.32 P=0.706（W0.8×1/36） | － | |
显微镜侧：M25.0 | M25.0 P=0.75 | 20mm | |
物镜侧：M25.0 | M25.0 P=0.75 | － | |
显微镜侧：M26.0 | M26.0 P=0.706（W26.0×1/36） | 21mm | |
物镜侧：M26.0 | M26.0 P=0.706（W26.0×1/36） | － |