分别为1轴或3轴压电陶瓷平台用控制器,并内置驱动器。
特点:
● 具有数字位移传感器的输入端口,可校正电压陶瓷特有的磁滞回归特性,实现了闭环控制。
● FINE-503(CL)可通过RS232C,GP-IB或USB接口连接计算机, 通过计算机发送简单的指令就可以控制平台的定位。
● FINE-01γ不仅可以通过RS232C或USB接口接受计算机的控制,还可以直接输入一个模拟控制信号实现同步高速控制。
品名 | 型号 |
带模拟信号输入的1轴压电陶瓷平台控制器 | FINE-01γ |
3轴压电陶瓷平台控制器 | FINE-503(CL) |
主要功能:
型号 | FINE-01γ | FINE-503(CL) |
控制器功能 | ○ | |
控制轴数 | 1 | 3 |
内置程序控制 | ○ | |
闭环控制 | 数字位移传感器 |
性能指标:
坐标显示范围 | ±999,999nm |
最大设定行程 | ±999,999nm |