型号
SFS-H60XY(CL)
行程
100μm±15％
台面尺寸〔mm〕
60×60
驱动机构
压电陶瓷
自重〔kg〕
0.43
理论分辨率（开环时）〔nm〕
1
分辨率（闭环时）〔nm〕
10
直线性〔％〕
0.3以下
垂直度（水平方向）〔μm〕
1
重复定位精度〔μm〕
0.1以下
承载能力〔N〕
14.7（1.5kgf）
微小位移传感器
数字位移传感器
适用电缆
FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用
产 品 说 明
产品说明：
采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
型号 |
|
行程 | 100μm±15％ |
台面尺寸〔mm〕 | 60×60 |
驱动机构 | 压电陶瓷 |
自重〔kg〕 | 0.43 |
理论分辨率（开环时）〔nm〕 | 1 |
分辨率（闭环时）〔nm〕 | 10 |
直线性〔％〕 | 0.3以下 |
垂直度（水平方向）〔μm〕 | 1 |
重复定位精度〔μm〕 | 0.1以下 |
承载能力〔N〕 | 14.7（1.5kgf） |
微小位移传感器 | 数字位移传感器 |
适用电缆 | FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 DS1-CA-3：数字位移传感器用 |
特点：
● 采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
● 采用压电陶瓷作为驱动机构，开环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。
● 位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
● 使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
● 重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。若使用FINE-01γ的模拟信号驱动时，可达25Hz。
SFS-H60XYZ(CL) 和SFS-H60Z(CL)精密压电陶瓷平台技术参数：
行程 | 100μm±15％ | 100μm±15％ |
台面尺寸 | 60×60mm | 60×60mm |
驱动机构 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 |
自重 | 0.63kg | 0.33kg |
理论分辨率（开环时） | 1nm | 1nm |
分辨率（闭环时） | 10nm | 10nm |
直线性误差 | ＜0.5％ | ＜0.3％ |
垂直度（水平方向） | 1μm | 1μm |
重复定位精度 | ＜0.15μm | ＜0.1μm |
承载能力 | 9.8N（1.0kgf） | 9.8N（1.0kgf） |
微小位移传感器 | 数字位移传感器 | 数字位移传感器 |
适用电缆 | FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 | FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 |