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NanoMap-O三维非接触光学表面轮廓仪                                         

我们的高分辨扫描白光干涉仪是一个最精确、易于使用的光学计量学系统。NanoMap-O系列光学轮廓仪广泛地用于表征各种表面参数,像表面粗糙、尺度、台阶高度、薄膜厚度等。所有的测量都是快的非接触的。

结合高质量的激光器、透镜、低机器噪声和技术,它能够完成二百多万像素的图像,具有0.001nm的分辨率。数据分析SPIP软件是工业上最有用的软件,广大用户能够做各种应用的表面分析。

 

特征

非接触基的技术

多余二百万像素的图像

▪ 0.001nm的分辨率

▪ Z轴范围从nm50mm

▪ XY扫描范围达到150x150mm

超高分辨率数字成像传感器同工业标准比较,传递13倍的数据

▪ LED光源寿命多于15

 

应用

台阶高度测量

表面粗糙测量

定量的抓和挖的特征,呈现深度、宽度和体积

平面或曲率的测量

二维薄膜应力测量

薄膜厚度

表面轮廓- 缺陷、形貌等