SpecEI椭偏仪
SpecEI-2000-VIS椭偏仪用波长功能测量从基底表面反射的极化光用来确定厚度和折射材料指数。SpecEl可以用PC机控制。一键测量折射指数，吸光率和厚度。
一体化精密系统
SpecEl有完整的光源，一个光谱仪和两个固定到70°的偏光镜。里面甚至包括一个32-bit Windows操作系统的PC机。SpecEl可以探测一个图层薄到0.1nm厚到5μm。另外，它可以提供折射指数到0.005°
SpecEl软件和配备文件
在SpecEl软件里，你可以改装和保存实验方法的文件以做一步分析，然后生成一个配方，你可以选择配方去做实验。
屏幕显示的是SpecEl软件示范Psi和Delta价值，你可以用来计算膜厚度，折射率和吸光率。
规格
波段范围 | 380-780nm（标准）或者450-900nm（任选的） |
光学分辨率 | 4.0nm FWHM |
精确度 | 厚度0.1nm；折射率0.005% |
入射角 | 70° |
薄膜厚度 | 1-5000nm单个透明薄膜 |
斑点尺寸 | 2mm×4mm（标准）或者200μm×400μm（任选） |
取样时间 | 3-15s（最小） |
动态测井 | 3s |
机械公差（高度） | +/-1.5mm，角度 +/-1.0° |
涂层数 | 最大到32层 |
参考资料 | 无可用的 |