PLASMA
氮气激光器
PLASMA
氮气激光器主要为紫外发射波长为
337.1nm
的周期脉冲激光器。其波长为
337nm,
短脉冲时间为
10ns,
脉冲能量
: 0.01~1mW
。可以广泛用于微电子学，光掩膜的生产与调整，集成电路的生产，薄膜电阻器的生产和清理焊缝。