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SpotOn ER型光束位置测量系统

扩展范围(ER),宽测量范围的一个新颖的设计。

定制20mm x 20 mm 的一个侧向效应探测器,拥有一个光学扩展器和附加的电缆

可测量的最大光束尺寸直径是22mm. 这个新探头可用下列系统操作：

Spoton PCI或PCMCIA

Spoton Analog

Spoton Analog USB

说明：

分辨率：+/- 3um

精确度：+/- 1%