类型

控制器

照明系统

观察用光源

LED环形照明 (红、蓝、绿)

测量用光源

白色LED

工作头

VR-5200, VR-5100

观察视野

低倍 (大视野)

15 英寸显示器上的倍率 12×

横

24.0 mm

纵

18.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 25×

横

12.0 mm

纵

9.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 38×

横

8.0 mm

纵

6.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 50×

横

纵

4.5 mm

高倍 (高分辨率)

15 英寸显示器上的倍率 40×

横

7.6 mm

纵

5.7 mm

15 英寸显示器上的倍率 80×

横

3.8 mm

纵

2.9 mm

15 英寸显示器上的倍率 120×

横

2.5 mm

纵

1.9 mm

15 英寸显示器上的倍率 160×

横

纵

1.4 mm

变焦

1 至 4 倍

高度测量

显示分辨率

0.1 µm

高度测量范围

无Z 连接

低倍 (大视野) : 10 mm
高倍 (高分辨率) : 1 mm

有Z 连接

低倍 (大视野) : 50 mm
高倍 (高分辨率) : 30 mm

重复精度σ

无Z 连接

0.4 µm*1

有Z 连接

1.0 µm*1

宽度测量

重复精度σ

低倍 (大视野) : 1 µm
高倍 (高分辨率) : 0.5 µm
*1

图像拼接功能

VR-5200: 全自动测量 (XY自动控制 + Z自动控制) 、自动创建MAP 图像、自动设定区域
VR-5100: 手动测量 (XY手动移动 + Z自动控制)
*2

XY 可测量范围

VR-5200: 206 x 104 mm
VR-5100: 92 x 86 mm
*2

载物台

XY 行程

VR-5200: 184 x 88 mm (电动)
VR-5100: 70 x 70 mm (手动)

Z 行程

73 mm (电动)

承受负重

4.5 kg

动作距离

75 mm

摄像元件

1 英寸400 万像素单色CMOS

投光镜头

双远心镜头 x 2

受光镜头

双远心镜头

数据处理部

基恩士指定专用电脑 (操作系统为Windows 10 Pro)

电源

电源电压

100 至 240 VAC 50/60 Hz

消耗功率

200 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+15 至 30 ℃

相对湿度

20 至 80 % RH (无凝结)

重量

约 4 kg