XYθ 平台

XY 平台电动／手动

手动

XYθ平台

XY 自动平台 马达

-

XY 自动平台 分辨率

XY 自动平台 移动速度

XYθ 平台

XY 平台移动量

X ：±37.5 mm、Y ：±25 mm

θ 旋转角

360 度

XYθ 平台尺寸

上方 180 × 136 mm

透过照明观测对应倍率

-

对焦Z 轴

Z 模块 电动/ 手动

电动

Z 自动模块 马达

2 相步进马达

Z 自动模块 分辨率

1 μm (typ.)

Z 自动模块 移动速度

5 mm/sec (max)

Z 模块 移动量

电动：29 mm 手动：33 mm

Z 平台

Z 平台电动／手动

手动

Z 自动平台马达

-

平台Z 轴

Z 自动平台 分辨率

Z 平台

Z 自动平台移动速度

Z 平台移动量

47 mm

侧面相机

无

载重

1 kg

额定

电源电压

DC 12 V

消耗功率

18 V

环境抗耐性

环境温度

+5 至 40℃

相对湿度

35 至 80％ RH（ 无凝结）

重量

约 14.2 kg