载重

3 kg

平台移动量

XY各方向 100 mm

显示分辨率

0.1 µm

移动精度

4 + 0.02 L (µm) *1

额定

电源电压

100 至 240 VAC、50/60 Hz

额定值

功率消耗

50 VA

环境抗耐性

环境温度

+5 至 +40 °C

相对湿度

35 至 80 % RH (无凝结)

重量

18 kg