XYθ平台

XY 平台 电动/ 手动

电动

XY 自动平台 马达

2 相步进马达

XY 自动平台 分辨率

1 μm (typ)

XY 自动平台 移动速度

10 mm/sec (max)

XY 平台 移动量

±20 mm

θ 旋转角

±90 度

XYθ 平台尺寸

上方 171 mm × 168 mm（中央圆板 ø100）

透过照明观测对应倍率

20 倍以上

对焦Z 轴

Z 模块 电动/ 手动

电动

Z 自动模块 马达

5 相步进马达

Z 自动模块 分辨率

0.1 μm (typ.)

Z 自动模块 移动速度

17 mm/sec (max)

Z 模块 移动量

49 mm

平台Z 轴

Z 平台 电动/ 手动

电动

Z 自动平台 电机

2 相步进马达

Z 自动平台 分辨率

1 μm (typ)

Z 自动平台 移动速度

10 mm/sec (max)

Z 平台 移动量

50 mm

侧面相机

有 VGA

载重

5 kg

额定

电源电压

100 至 240 VAC±10％ 50/60 Hz

消耗功率

130 VA

环境抗耐性

环境温度

+5 至 40℃

相对湿度

20 至 80％ RH（ 无凝结）

重量

23.8 kg