型号	AlignMeter – 100
透镜焦距	100mm
位置分辨率	Down to 0.1µm at 50Hz digital
	filter+Averaging
位置精确度	±15µm edge-to-edge (±8µm)
角度测量范围	80 mRad (40 mRad)
角度分辨率	0.01 mRad (0.006 mRad)
角度精确度	0.25 mRad edge-to-edge (0.15 mRad)
重量	180 Gr. Excluding cables