IXION-193是一款单频全固态激光器。应用于光学度量,193nm的校准光源,高功率ArF准分子激光器的带宽控制。该激光器的光谱带宽接近理论傅里叶极限。

 

激光器的中心波长可以在190-194nm之间选择,选择精度高达0.01nm

 

选项:内部集成一个高精度光谱仪,绝对光谱精度高达0.001nm。可实现激光器最大程度的可控性。

 

应用领域

· 193nm光学度量

· 光谱仪校准

· 干涉度量分析

· 准分子激光器的种子源

 

产品特点:

· 工业化应用

· 二极管泵浦

· 密封外壳

· 槽安装激光二极管

· 光学参数优良

· 功率稳定度高

· 免维护,热电控制

· 19寸电源和冷却

· LabVIEW驱动

· 集成光谱仪,实现波长的在线控制(选项)

 

产品参数:

型号

IXION-193 SLM

波长

193.368nm

平均功率

10mW

脉宽

10ns

单脉冲能量

1.6μJ

重复频率

6kHz

M2

1.6

光谱线宽

120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1

光谱控制

80GHz = 10pm = 2.6 cm-1

相干长度

1m

 

系统尺寸(L×W×H),重量:

激光头

795×710×154mm3

74kg

电源(冷却装置)

600×600×600mm3

45kg

 

电源参数:

85-264VAC

47-63Hz

650W