IXION-193是一款单频全固态激光器。应用于光学度量,193nm的校准光源,高功率ArF准分子激光器的带宽控制。该激光器的光谱带宽接近理论傅里叶极限。
激光器的中心波长可以在190-194nm之间选择,选择精度高达0.01nm。
选项:内部集成一个高精度光谱仪,绝对光谱精度高达0.001nm。可实现激光器最大程度的可控性。
应用领域:
· 193nm光学度量
· 光谱仪校准
· 干涉度量分析
· 准分子激光器的种子源
产品特点:
· 工业化应用
· 二极管泵浦
· 密封外壳
· 槽安装激光二极管
· 光学参数优良
· 功率稳定度高
· 免维护,热电控制
· 19寸电源和冷却
· LabVIEW驱动
· 集成光谱仪,实现波长的在线控制(选项)
产品参数:
型号 | IXION-193 SLM |
波长 | 193.368nm |
平均功率 | >10mW |
脉宽 | <10ns |
单脉冲能量 | 1.6μJ |
重复频率 | 6kHz |
M2 | <1.6 |
光谱线宽 | <120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1 |
光谱控制 | >80GHz = 10pm = 2.6 cm-1 |
相干长度 | >1m |
系统尺寸(L×W×H),重量:
激光头 | 795×710×154mm3 | 74kg |
电源(冷却装置) | 600×600×600mm3 | 45kg |
电源参数:
85-264VAC |
47-63Hz |
650W |