一、主要特性：
光束质量: M²<1.5
脉冲能量达200μJ
脉宽可小于10ps
峰值功率达20MW
重复频率可达15MHz
平均功率达100W
波长1064、532、355、266nm
二、产品应用：
光伏产业，如:硅晶圆的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
印刷工业，如:印刷轮雕版
显示领域，如:构造导电层，横向连续硅结晶
电子行业，如:印刷电路板的钻孔和切割
工具制造和机械工程，如:三维快速成型
三、参数规格：
波长[nm] | 1064 | 532 | 355 | 266 |
高光束质量 M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
平均功率[W] | 100 | 60 | 30 | 10 |
重复频率[MHz] | 15 | 15 | 15 | 15 |
单脉冲能量[μJ] | 200 | 120 | 70 | 30 |
脉宽[ps] | 8 | 8 | 8 | 8 |
能量稳定性[%]rms | 1 | 2 | 3 | 4 |
定时稳定性[ns] | 60 | 60 | 60 | 60 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
出口光斑直径[mm] | 3 | 3 | 3 | 3 |
满量程发散角[μrad] | 500 | 250 | 226 | 226 |
电源 | 90V-264V,50/60Hz 1KW | |||
水冷机 | 230,208,115,100V,50/60Hz 0.8KW | |||
工作温度 | 15-30℃ | |||
激光头 | 650mm*268mm*139mm 36kg | |||
电源及水冷机组 | 19"*10HU*650mm 62kg | |||