型号 | VL-530 | |||
类型 | 载物台 | |||
控制器 | VL-500 | |||
测量头 | VL-570 | |||
照明系统 | 观察用光源 | 三色 LED(红色、绿色、蓝色) | ||
测量用光源 | 蓝色 LED | |||
测量精度 | ±10 µm*1 | |||
测量分辨率 | 标准测量(4M 模式) | 400 万点 | ||
高精度测量(16M 模式) | — | |||
测量范围 | 低倍 | ø300×H200 mm | ||
高倍 | ø70×H50 mm | |||
显示分辨率 | 0.1 µm*2 | |||
重复精度(σ) | 2 µm*3 | |||
投光 光学系统 | 偏移投光型投影仪模块 | |||
受光 光学系统 | 低倍、高倍偏移双光学模块 | |||
图像拼接功能 | 自动旋转拼接测量 | ○ | ||
自动 XY 拼接测量 | — | |||
自动 XY 拼接 测量范围 | 低倍(2×2 合成) | |||
低倍(3×1 合成) | ||||
高倍(2×2 合成) | ||||
高倍(3×1 合成) | ||||
载物台 | 载物台构成 | 电动θ 载物台构造 | ||
载物台旋转 | 360°(无限旋转) | |||
载物台移动范围 | — | |||
倾斜构造 | 最大45° | |||
承受负重 | 20 kg | |||
控制用计算机 | 本公司指定专用 PC(OS 为 Windows®10)*4 | |||
电源 | 电源电压 | 100 至 240 VAC±10％ 50/60 Hz | ||
消耗功率 | 控制器/ 测量头: 200 VA、载物台: 200 VA | |||
环境抗耐性 | 使用温度范围 | +15 至 +30℃ | ||
使用湿度范围 | 20 至 80%RH，但无凝结 | |||
重量 | 控制器: 3.8 kg | |||
*1 参考 JIS B7440-8，使用本公司现有标准量规，按本公司现有测量模式测量时的值，使用环境温度为 23℃ ±1℃ | ||||