1.堆叠式XYZ Stage

 平台特性

• 堆叠式3 轴平台，正交性设计

• 全局平面度、直线度达微米级

X/Y 轴

• 高刚度内循环滚柱导轨

• 无线缆扰动力设计

Z 轴

• 垂向磁悬浮重力补偿，可实现极高定位精度

• 高刚性、高精度导向设计

• 垂向增量光栅，最高可实现5 纳米分辨率

• 超薄型、轻量化设计

• 垂向最大可支持25mm 行程

• 最大支持转速240rpm

控制系统

• ACS 8 轴驱动器，支持PEG、STO 等功能

• ACS 控制器

平台概要
    堆叠式XYZ 系统，采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZ-10Stage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上，能实现X、Y 和Z轴3 自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，MZ-10 Stage 标准模组采用了大行程磁浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，极大地提高了垂向运动性能和寿命的功能。可实现高精度上下方向定位的升降。十字平台Cross XY Stage模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。   

2.堆叠式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）

平台特性

• 堆叠式4 轴平台，正交性设计

• 全局平面度、直线度达微米级

X/Y 轴

• 高刚度内循环滚柱导轨

• 无线缆扰动力设计

Z 轴

• 垂向磁悬浮重力补偿，可实现极高定位精度

• 高刚性、高精度导向设计

• 垂向增量光栅，最高可实现5 纳米分辨率

• 超薄型、轻量化设计

• 垂向最大可支持24mm 行程

Rz 轴

• 360 旋转，无管路缠绕，支持12’、8’晶圆真空吸附

• 支持最大±0.7mm 翘曲晶圆

• 最大支持转速240rpm

控制系统

• ACS 8 轴驱动器，支持PEG、STO 等功能

• ACS 控制器

平台概要
    堆叠式XYZT 台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZT-24-CRGStage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上，能实现X、Y 和Z轴3 自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋转运动平台和垂向运动创新性的在轴向进行耦合的设计思想，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现Rz/Z 轴2 自由度的高精度、高刚度运动无限制旋转。十字平台Cross XY Stage 模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。    

3.堆叠式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

平台特性

• 堆叠式7 轴平台，正交性设计

• 全局平面度、直线度达微米级

X/Y 轴

• 高刚度内循环滚柱导轨

• 无线缆扰动力设计

• Z3T 轴
  垂向磁悬浮重力补偿，可实现极高定位精度
  

• 柔性导向设计

• 垂向增量光栅，最高可实现5 纳米分辨率

• 超薄型、轻量化设计

• 最大支持转速240rpm

• 超过±0.2°的摇摆和倾斜修正

控制系统

• ACS 8 轴驱动器，支持PEG、STO 等功能

• ACS 控制器

平台概要
    堆叠式XYZ3T 台采用模块化、超薄设计、正交性设计等的理念，将MZ3T标准模组集成在XYY 堆叠式水平运动模组之上，能实现X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 轴6 自由度的高精度、高刚度运动。其中MZ3T 标准模组采用紧凑设计技术，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 轴，具有拥有优异的定位精度、平面度、直线度、刚性和重复性精度的功能。垂向采用了独有的磁浮重力补偿技术，降低了垂向音圈电机的载荷，极大地提高了垂向运动性能和寿命。XYY 堆叠式水平运动模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。特别适用于特定大型面板/基体上的倒晶封装。