行程6 mm(1/4英寸)-线性位移台


 

(一)位移台:1.5 mm手动+压电调整;位移台:5 mm手动+可选的压电调整


(1)NF15AP25,位移台,单轴挠性,1.5 mm行程

NanoFlex位移台特性:

Ø 手动移动范围:1.5 mm

Ø 压电移动范围:25 µm

Ø 紧凑的尺寸: 30 mm2 x 12.5 mm 厚度

Ø 可用选用底板和角托架设置XYZ配置

Ø 包含所有的驱动电缆

Ø 兼容的压电控制器: KPZ101、BPC301、BPC303、MDT694B、MPZ601

Ø 提供KPZ101压电控制器封装

NanoFlex™ 系列位移台设计紧凑,是一个无摩擦的机械装置。相比类似的使用轴承结构的位移台,该位移台使用无摩擦的挠性机械,能够改善定位精度和分辨率。通过安装位移台上联动装置的弹性形变(挠性)可以实现位移台的移动。该位移台的手动移动范围为1.5 mm,独立的压电移动范围为25 μm。压电驱动通过标准的SMC终端连接。

NanoFlex™ 系列挠性位移台的最大负载为0.5 kg(1.1磅),是许多实验室和OEM应用的理想选择。模块化设计可组装成多轴结构。利用三个NF15AP25(/M)位移台和一个NF15P2(/M)角托架可以构造XYZ配置的结构。提供一个英制的(KPZNF15)和一个公制的(KPZNF15/M)套装,其中包含一个NanoFlex™挠性位移台,一个KPZ101压电控制器和一个 NF15P1底板。

 

NF15AP25位移台主要技术指标

 

Item #

NF15AP25

Manual Travel

0.06" (1.5 mm)

Manual Travel Resolution

2 um

Coarse Adjustment

0.02" (0.5 mm) per Rev. of Thumbscrew (Typical)

Leadscrew Pitch

0.25 mm

Load Capacity

Horizontal: 1.1 lbs (0.5 kg)

Vertical: 0.55 lbs (0.25 kg)

Cross Talk

1.0 um (Max)

Piezo Travel

25 um

Piezo Voltage

0 - 75 V

 

 

(2)NFL5DP系列 位移台,单轴挠性,5 mm行程

 

主要特性:

Ø 差分千分尺行程:5 mm

Ø 选用的20 μm压电驱动

Ø NFL5DP20(/M):无应变计,用于开环工作

Ø NFL5DP20S(/M):有应变计,用于闭环工作

Ø 紧凑的尺寸:边长为3.00英寸(75 mm),厚度1.18英寸(30 mm)

Ø XYZ轴都可配置

Ø 包含所有电线

Ø NFL5DP20(/M)位移台与KPZ101控制器组合出售

在尽可能保证稳定性的情况下,NanoFlex™型5 mm行程单轴复合挠性位移台能提供超平滑的移动,适合对在线性负载中的固有错误要求十分严格的应用。复合线性挠性设计保证了位移台能在整个移动范围内提供真实零串扰的线性移动。这种特性不需要使用要求控制接触的部件来维持其运作就能实现;所有的运动都是由位移台内的各种挠性部件实现的。这些特性保证了位移台性能即便在严酷的环境下也不会受到影响。

这些位移台可以通过下述的NFL5P1(/M)底板和NFL5P2(/M)角度托架堆叠而形成2轴或3轴配置。提供一个3 m长的压电驱动器接线(SMC转SMC),以及一个3 m长的反馈接线(LEMO转LEMO)。

主要技术指标:

 

 

(二)手动线性位移台:行程6 mm(1/4英寸)


 

(1)MS1 & MS3手动位移台

主要特性:

Ø 终端安装的调节螺丝

Ø 可锁紧

Ø XYZ方向可组建

MS1(/M)系列位移台可实现一轴的移动,终端配有调节螺丝。可通过位移台顶部的五个8-32(M4)螺纹孔安装元件。位移台可利用位于底面的8-32(M4)螺纹孔安装在MS101底板或Ø1/2英寸接杆上。另外,位移台顶部有两个通孔可以用来将一个MS1位移台与另一个相连接。每个位移台有两个定位销,用于精确对准XY配置的两个MS1位移台,或将位移台对准下面出售的安装板。

MS3是完全组装好的3轴位移台。MS3是由三个MS1,一个MS101,一个MS102和一个转接板搭建而成。英制版本的转接件包含四个6-32安装孔和四个8-32安装孔,用于安装不同的元件;公制版本包含八个M4安装孔。英制和公制版本都有一个4 mm键槽,周围有4-40(M3)的螺孔,用于将下方的光学元件安装座固定到位移台。

 

(2)MS1S位移台

Ø 侧装式千分尺

Ø 可锁紧

Ø XYZ 方向可组建

MS1S位移台可实现一轴移动,且带有一个侧装式千分尺。由于MS1S位移台去掉了移动轴上的驱动器,它更适合用于需要位移台与其他元件紧密靠近的情况。MS1S位移台用148-206ST (1/4英寸行程千分尺)驱动,而MS1S148-205ST (6.5 mm行程千分尺)驱动。

可通过位移台顶部的五个8-32(M4)螺纹孔安装元件。位移台可利用位于底面的8-32(M4)螺纹孔安装在MS101底板或 Ø1/2英寸接杆上。另外,位移台顶部有两个通孔可以用来将一个MS1S位移台与另一个相连接。每个位移台有两个销子,当用两个MS1S位移台搭建XY组件时可进行准直,或是准直位移台与下面可选的安装台。

 

主要技术指标:

 

Item #

MS1

MS3

MS1S

单轴

XYZ轴

手动位移台单轴

Drive Type

M3 x 0.25 Fine-Adjustment Screw;

Micrometer;

Provides 250 um/rev

Provides 0.025"(0.5 mm) per Rev

Stage Height

0.60" (15.2 mm)

0.73" (18.4 mm)

Horizontal Load

7 lbs (3.2 kg) (Max)

7 lbs (3.2 kg) (Max)

Vertical Load

2.5 lbs (1.1 kg) (Max)

2.5 lbs (1.1 kg) (Max)

Maximum Stage Travel

1/4" (6.4 mm)

1/4" (6.5 mm)

Orthogonality

< 2 mrad (with Alignment Pins)

Bearing Type

Ball Bearing

Material

Aluminum with Hardened Steel Dowel Pins