产品特点:
LDI-8000直接成像设备综合运用世界一流的数字化影像处理、光学、高精密控制、检测等前沿技术,实现了全过程的数字化处理过程。相对于传统曝光制程,使得图形转移的合格率、品质、精度等大幅提升,并节约了菲林相关的所有费用;在缩短工艺流程的同时大幅提高生产效率。 In-line LDI-8000是在LDI-8000的基础上,配套高效的自动化设计,使加工效率达到最大化,是曝光制程大规模生产理想选择。
技术参数:
最大基板尺寸 22’’ x 24’’(可选) 最大成像尺寸 22’’ x 24’’ 基板厚度 1-300mil 最小线宽线距 1.0 mil 对位精度 0.6 mil 光源 405nm 单机生产效率 240面/小时@10mj/cm2 联线生产效率(大族条件) 5200panel/天