自从１８１４年夫琅和费发明光栅刻划技术，直到近三十年，由于光栅刻划技术和复制
技术进一步提高，光栅作为分光元件，应用越来越广。
光栅种类很多，有平面光栅、凹面光栅、阶梯光栅等。
平面衍射光栅又有透射式与反射式两种。
平面衍射光栅是在高精度平面上刻有一系列等宽而又等间隔的刻痕所形成的元件。
凹面衍射光栅刻划在球面或非球面上一系列等距划痕的反射式衍射光栅
阶梯光栅是由排列的像阶梯一样的一系列厚度和折射率都相同的透明玻璃或石英平行板
光胶形成的。
目前光谱仪器中广泛采用反射式衍射光栅。