结

构

描

述

X，Y轴行程

15 mm

台面尺寸

90×90mm

螺杆规格

高研丝杆副（导程1 mm）

导轨

交叉滚柱导轨

步进电机（1.8°）

28STH51H-0674B

主体材料

铝合金

表面处理

阳极氧化发黑

台面承载

10 kg

重量

3.2kg

精

度

描

述

分辨率

2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）

最大速度

6mm/sec

重复定位精度

1.5μ

绝对定位精度

5μ

直线度

5μ

运动平行度

15μ

俯仰

50″

偏摆

25″

回程间隙

2μ

丢步

2μ

可加装光栅尺(G)

可换装伺服电机(D)