运行模式

CW

输出功率(兆瓦)

>1, 10, 20, … , 50

功率稳定(均方根，超过4小时)

<10%

横模

TEM 00

M2因子

<2.0

振幅噪声(RMS，20 Hz~20 MHz)

<1%

孔径处光束直径(1/e2，mm)

~1.5

光束发散，全角度(Mrad)

<1.0

极化比

>50：1，>100：1，可选

水平±5度(垂直可选)

热身时间(分钟)

<10

距基板(Mm)的梁高

50

工作温度(℃)

10~35

电源(90-264 VAC)

VD-II

预期寿命(小时)

5000

保修

1年