波长(Nm)

320±1

输出功率(兆瓦)

>1, 2, 3, …, 20

横模

近TEM₀₀

运行模式

CW

功率稳定(均方根，超过4小时)

<10%

热身时间(分钟)

<10

M²因子

<2.0

光束发散，全角度(Mrad)

<2.5

孔径处光束直径(毫米)

~1.5

距基板(Mm)的梁高

50

极化比

>50：1(横向)

操作温度(℃)

10~35

光谱纯度

>99%

电源(90-264 VAC)

VD-II

预期寿命(小时)

5000