中心波长(Nm)

266±1

输出平均功率

1,5,10

横模

TEM 00附近

运行模式

Q开关脉冲激光器的频率转换

单脉冲能量(μJ)

0.1~3

脉冲宽度(Ns)

~5

峰值功率(W)

20~600

代表率(千赫)

固定

安排一个固定的代表。内部频率在1 kHz~4 kHz之间,脉冲能量稳定,脉宽稳定,脉冲周期稳定。

下三角

1 kHz~4 kHz采用外部触发,脉冲能量稳定,脉宽稳定,脉冲周期稳定。

QCW

有一个代表的QCW状态。频率在5千赫-7千赫之间。

平均功率(兆瓦)

平均功率(MW)=单脉冲能量(μJ)*修正速率(KHz)

电源稳定性(超过4小时)

<5%, <10%

热身时间(分钟)

<10

M2因子

<1. 5

光谱纯度

>99%

光束参数

椭圆(4:1),束斑~2mm

极化比

>100:1

距基板(Mm)的梁高

45

工作温度(℃)

10~35

电源(90-264 VAC)

VD-II

预期寿命(小时)

5000

保修期

1年

评语

请注意:由于非线性晶体的走离效应,紫外激光器的光束质量不如1064/532 nm激光器。


 266nm紫外激光器266nm紫外激光器