型号
中空区尺寸
平台尺寸
位移行程
1600分割解析度
定位精度
平行度
重复精度
重量
M-JTH640-350-C3
250x250mm
400X340mm
X=350mm，Y=350mm
2.5um
±4um/300mm
≤2um
50um
19Kg
