型号
中空区尺寸
平台尺寸
位移行程
1600分割解析度
定位精度
平行度
重复精度
重量
M-JTH360-250-C7
190x290mm
360X360mm
X=250mm，Y=200mm
1.25um
±50um/300mm
≤3um
30um
10Kg
