型号
中空区尺寸
平台尺寸
位移行程
1600分割解析度
定位精度
平行度
重复精度
重量
M-JTH250-130-C7
176x176mm
250X250mm
X=130mm，Y=130mm
0.625um
±50um/300mm
≤2um
20um
5Kg
