型号STP-BeamWave1500
最大输入光束直径1/e26.4mm
有效CCD口径6.4mm
M2精度±5%
波前测量点数1392 X1040
波前灵敏度,rms3nm, >0.02λ
波前精度,rms6nm, >0.01λ
波前动态范围1800λ