型號\規格
檯面大小
驅動模式
軸向
θx 行程
θy 行程
θz 行程
分離卡精度
重量
TP-1
72mm x 127mm
Mircometer
θx θy
6°
12°
NA
θx≒0.01° θy≒0.01°
0.65
