LSSL-DNF-20I		LSSL-DNF-40I	LSSL-DNF-40F
激光	Nd:YAG	Nd:YAG x 3	CO2	CO2	CO2
波长	1064nm	355nm	10.6nm	10.6μm	10.6μm
XY 扫描装置	10mm 光孔	14mm光孔	30mm光孔	30mm光孔	30mm光孔
平场物镜	焦距 55 mm	无	无	无	无
像场大小	Ø15 mm	600x600mm	500x500mm	200x200mm-600x600mm	600x600mm-2000x2000mm
焦深	±4mm	±80mm	±100mm	±2mm-±40mm	±2mm-±400mm
焦点光斑 (1/e2)	<15m (M2=1)	<75m(M2=1)	550m(M2=1)	200m(M2=1)-550m(M2=1)	550μm(M2=1)-1.8mm(M2=1)
光束扩大倍率	2.8	3.8	2.35	2.4-2.1	2.1-1.9
透镜行程内平均焦点偏移	2mm/mm	61mm/mm	49.3mm/mm	-	-
焦距	-	1300±122mm	850±148mm	395±18mm-940±140mm	940±60mm -2850±600mm
最大激光功率	20W	50W	1000W	500W	500W
工作温度	25±10°C	25±10°C	25±10°C	25±10°C	25±10°C