系统主要用于LED芯片制程的PSS及EPI段的生产质量管控，具有对各项异常自动判定、记录、分析、管理功能， 避免PSS不良基板投入ICP蚀刻及MOCVD磊晶段，保证产品的品质。适应于图形化蓝宝石制程中的检测，如基板进料检测、图形后检测、蚀刻后检测，通过图像系统，自动检出如线状、点状、图形遗失、刮伤、污染等生产常见缺陷，取代人工作业，精确控制生产品质，减少制程损失，降低生产成本，提供更精确、更全面的品质控制方案。
