设备特点:
广角轮廓相机(自动辨别全/破片功能)
高精度角度矫正相机,有效提高辨识能力
自动劈裂起始雷割线,水平调整皆经double check 确保水平无误
破片检知,自动搜寻晶圆边界,加快搜寻时间
可执行手动劈裂及补劈作业
多种未断检查功能
可兼容2英寸、4英寸、6英寸的晶圆片
全自动上下料功能, 无人值守式全自动运行(料盒方式,整盒上下料),产品批量化生产