氮分子激光器

    氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm三个波长。
    PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。  

 

  

 

 

 

参数

 NPL-3 

 LGI-505 

 LGI-511 

波长, μm

 0.337 

 0.337 

 0.337 

脉冲能量, μJ

 30 

 120 

 240  

平均功率, mW

 3 

 120 

 240  

光束直径, mm

 2 

 5 

 5 

脉冲重复频率:

 1-100 

 5-1000 

 1 -1000  

脉冲宽度, ns

 5±1 

 8 ±2 

 8 ±2 

尺寸, mm

 350x325x150 

 484x510x215 

 1140x525x345 

重量, kg

 10 

 35 

 105 

电压, V

 220 

 220 

 220 

功率消耗, w

 50 

 1200 

 1500 

制冷方式

风冷

水冷

水冷

工作温度, OC

 0...+40 

 0...+40 

 +10...+40 

质保工作时间, h

 500 

 1000 

 500