基于30年在半导体制造工厂中安装基础隔离系统的经验,DAEIL SYSTEMS保证通过控制振动来提供最高质量的产品,并提高半导体制造的产量。


在洁净室安装基础隔离系统



首先,我们在振动敏感的半导体设备将被安装的高架地板下面建立一个基础隔离系统。



建立基础隔振系统后,我们用我们的平台替换了一部分活动地板。 隔离平台不会受到周围活动地板振动的影响。 现在,半导体设备可以产生最好的性能而不受振动的干扰。



DVIF安装在洁净室内