气动隔振系统价格合理

DVIM-F由一个空气弹簧组成,能够以合理的价格在垂直轴和水平轴上实现隔振。此外,由于DVIM-F隔离器通过空气弹簧将系统隔离,所以隔离器的耐用性非常出色。因此,用户不必担心用新的更换隔离系统。 DVIM-F气动隔振器推荐用于需要较少振动隔离,阻尼和稳定时间的工作台。


创新的调平阀门,加快建立时间
我们的三个双向调平阀自动发布系统,提供多种阀门选项,从±0.1mm的重复性标准阀门到±0.05mm重复性的精确阀门。


油阻尼器选项

当DVIM-F隔离器与内置油阻尼器一起使用时,X-Y线性级的运动被最小化,有效负载稳定时间减少,并且隔离器的刚度增加。


应用

线性X-Y阶段、半导体制造与检测设备、LCD制造与检测设备、光学激光机、OEM应用程序


产品规格

隔振:气动隔离
自然频率:垂直:3.0〜3.5Hz,水平:3.1〜3.6Hz
隔振:10Hz时±80%
调平:自动调平
调平重复性:精密阀门:±0.05mm,标准阀门:±0.5mm
阻尼:内部孔口,内置油阻尼器


性能


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